Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
Sputtering
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
900 mm
Lunghezza
1.200 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
8
Diametro satelliti
230 mm
Altezza utile caricabile
1.000 mm
Tempo ciclo stimato
6-12 minuti
Impianto
1400/1900
Camera
Orizzontale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
1.400 mm
Lunghezza
1.900 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
8
Diametro satelliti
320 mm
Altezza utile caricabile
1.600 mm
Tempo ciclo stimato
12-22 minuti
Impianto
2000/2800
Camera
Orizzontale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera