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ORIZZONTALI
RAPID
CYCLE
USATO
Impianto
1100/1100
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
Dimensione camera:
Diametro
1.100 mm
Altezza
1.100 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8
Diametro satelliti
320-260 mm
Altezza utile caricabile
900 mm
Tempo ciclo stimato
4-10 minuti
Impianto
1300/1300
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
Dimensione camera:
Diametro
1.300 mm
Altezza
1.300 mm
Lunghezza
Dati di carico:
Numero di satelliti
6
Diametro satelliti
420 mm
Altezza utile caricabile
900 mm
Tempo ciclo stimato
12-18 minuti
Impianto
1400/1400
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
Dimensione camera:
Diametro
1.400 mm
Altezza
1.400 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8
Diametro satelliti
430-370 mm
Altezza utile caricabile
1.050 mm
Tempo ciclo stimato
12-18 minuti
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