PLASMA - MEDIO FREQUENZA/MF

Le fasi di scarica ionica, polimerizzazione, NOS e Antifog prevedono la creazione all’interno della camera di processo di un plasma (gas attivato).
L’attivazione di tale gas (plasma) avviene tramite un campo elettrico creato da un generatore di potenza. Generalmente si tratta di un generatore in DC.
Al fine di raggiungere una migliore qualità di processo e di ridurre i tempi di trattamento, gli impianti ARZUFFI adottano un sistema di attivazione del plasma in Medio Frequenza.

I vantaggi di tale soluzione tecnica sono:

- Tempo ciclo totale più rapido: riduzione del 50% del tempo di trattamento nella fasi in cui la MF è applicata;
- Migliore qualità dei substrati: è possibile raggiungere il livello di qualità desiderato anche in presenza di geometrie
complesse e/o con incavi profondi;
- Taglio dei costi della materia prima: eliminazione della carta di alluminio da avvolgere attorno al catodo di scarica ionica;
- Diminuzione dei tempi di carico: eliminazione dell’operazione di sostituzione del catodo di scarica dopo ogni ciclo.
Infatti con la tecnologia in MF i catodi devono essere sostituiti per essere ripuliti solo una volta al giorno.

Sugli impianti ARZUFFI che prevedono la tecnologia MF vengono installati due catodi ai due lati del semiguscio fisso.
Generalmente i catodi hanno la forma di una piastra, che viene dimensionata a seconda dell’altezza della camera di processo.