PECVD - POLIMERIZZAZIONE - BASE COAT/TOP COAT

Si tratta di un processo nel quale un monomero (generalmente HMDSO), iniettato in forma gassosa all’interno della camera da vuoto, viene polimerizzato grazie
alla scarica ionica in DC o in MF. I più importanti parametri che entrano in gioco in tale processo sono: il grado di vuoto, la quantità di monomero iniettata ed il campo
elettrico applicato. Obiettivo del processo di polimerizzazione è dare una maggiore stabilità chimica, meccanica e termica al substrato.



Tale applicazione è dunque considerata un processo di anticorrosione, essendo finalizzata alla protezione ed antiossidazione del metallo depositato.

Qui di seguito è raffigurato un substrato sottoposto a test anticorrosivo (camera umidostatica, nebbia salina, shock termico etc..).
Il lato destro, dopo la deposizione del metallo, è stato trattato con la fase di polimerizzazione, mentre il lato sinistro non ha subito questo trattamento.
Il risultato mostra chiaramente come la fase di polimerizzazione garantisce una protezione del substrato preservandolo nel tempo da un deterioramento che
ne causerebbe un problema di utilizzo.


A seconda del momento in cui viene attivata, la fase di polimerizzazione è definita “base coat”
oppure “top coat” (base – prima della deposizione del metallo / top – a seguito della deposizione
del metallo).