Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
Sputtering
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
800 mm
Altezza
1.500 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
1
Diametro satelliti
710 mm
Altezza utile caricabile
1.200 mm
Tempo ciclo stimato
3-7 minuti
Impianto
1000/1800
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
Sputtering
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera