Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
Sputtering
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
1.100 mm
Altezza
1.100 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8
Diametro satelliti
320-260 mm
Altezza utile caricabile
900 mm
Tempo ciclo stimato
4-10 minuti
Impianto
1400/1400
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
Sputtering
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
1.400 mm
Altezza
1.400 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8-10-12
Diametro satelliti
440-360-295-250 mm
Altezza utile caricabile
1.100 mm
Tempo ciclo stimato
10-15 minuti
Impianto
1700/1500
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
1.700 mm
Altezza
1.500 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8-10-12
Diametro satelliti
540-440-375-330 mm
Altezza utile caricabile
1.200 mm
Tempo ciclo stimato
10-18 minuti
Impianto
1800/1800
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera
Dimensione camera:
Diametro
1.800 mm
Altezza
1.800 mm
Dati di carico:
Numero di satelliti
6-8-10-12
Diametro satelliti
560-460-390-350 mm
Altezza utile caricabile
1.500 mm
Tempo ciclo stimato
12-22 minuti
Impianto
1900/1300
Camera
Verticale
Tecnologia installata
Scarica ionica
PECVD polimerizzazione di base
Evaporazione termica
PECVD polimerizzazione finale
NOS
SiOx
Medio Frequenza
Polycold trappola in camera