Impianto combinato di rivestimento

È possibile unire due tecnologie in un unico sistema? L’impianto combinato di rivestimento in alto vuoto Combi-Met combina lo sputtering e l’evaporazione termica nella stessa camera.

Le configurazioni disponibili per questa linea sono 4, ognuna delle quali differisce dalle altre per dimensioni della camera e modalità di caricamento. Anche da un punto di vista della durata di un ciclo di lavoro ogni modello si differenzia: gli impianti Big Chamber e Orizontal impiegano un tempo compreso tra i 6 e i 20 minuti, mentre i macchinari Single Planet e Double Planet vanno dai 4 ai 9 minuti.

I processi di rivestimento impiegati sono differenti: scarica ionica, basecoat e topcoat PECVD (HMDSO), evaporazione termica, sputtering/sputtering reattivo, AHC (rivestimento duro Arzuffi) e SiO2.

I vantaggi che accomunano la linea Combi-Met riguardano la flessibilità di passare da una tecnologia di rivestimento ad un’altra in pochi secondi e la possibilità di avere più fasi di rivestimento nello stesso ciclo (rivestimento multistrato).

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