É possível combinar duas tecnologias em um único sistema? O sistema de revestimento de alto vácuo Combi-Met combina sputtering e evaporação térmica na mesma câmara.

Há quatro configurações disponíveis para essa linha, sendo que cada uma delas difere das demais em termos de tamanho da câmara e método de carregamento. Cada modelo também difere em termos de duração de um ciclo de trabalho: as máquinas Big Chamber e Orizontal levam entre 6 e 20 minutos, enquanto as máquinas Single Planet e Double Planet variam de 4 a 9 minutos.

São usados diferentes processos de revestimento: descarga de íons, revestimento básico e revestimento superior PECVD (HMDSO), evaporação térmica, sputtering/sputtering reativo, AHC (revestimento duro Arzuffi) e SiO2.

As vantagens comuns à linha Combi-Met são a flexibilidade de mudar de uma tecnologia de revestimento para outra em segundos e a possibilidade de ter várias etapas de revestimento no mesmo ciclo (revestimento multicamadas).

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